微電子技術(shù)的發(fā)展為信息處理、自動化辦公、通信以及生產(chǎn)等方面帶來了極大的進(jìn)步空間。在微電子技術(shù)發(fā)展的過程中，人們的思維習(xí)慣、生活方式和社會的生產(chǎn)都在一定程度上發(fā)生了變化，隨著微電子技術(shù)的發(fā)展，人類從此以后進(jìn)入了信息化時代。伴隨著微電子技術(shù)的發(fā)展，微電子機械技術(shù)隨之產(chǎn)生。微電子機械技術(shù)是一項全新的技術(shù)，其在技術(shù)發(fā)展的空間內(nèi)具有廣袤的前景。在其不斷發(fā)展的過程中，不斷的減小了發(fā)展的成本，改進(jìn)現(xiàn)有的技術(shù)功能。微電子機械技術(shù)成為微電子技術(shù)發(fā)展的一項技術(shù)性革命。
一、微電子機械技術(shù)發(fā)展的概況
微電子機械技術(shù)具有體積小、可靠性強、重量輕以及工作速度快等特點。微電子機械技術(shù)是根據(jù)集成電路為核心的半導(dǎo)體器件發(fā)展起來的一項新型技術(shù)。微電子機械技術(shù)的發(fā)展推動了電子信息時代的進(jìn)步以及社會工業(yè)化的革新。微電子機械技術(shù)是微電子技術(shù)和微加工技術(shù)的結(jié)合體。在認(rèn)識微電子機械技術(shù)的過程中還應(yīng)當(dāng)要對微加工技術(shù)和微電子技術(shù)有相應(yīng)的了解。在微電子機械技術(shù)發(fā)展之前就已經(jīng)有科學(xué)家從事了相應(yīng)的電子元器件制造、設(shè)備維護(hù)、質(zhì)量控制和半導(dǎo)體芯片等工作。這些工作的進(jìn)行對探索集成電路為核心的電子技術(shù)發(fā)展中具有促進(jìn)作用。微型機械系統(tǒng)可以完成其他電子技術(shù)所不能完成的任務(wù)。微型技術(shù)與微型機械相互結(jié)合使得種類繁多的微型器件相繼問世。這些器件的批量生產(chǎn)廣泛的運用于生活的各個方面。微電子機械技術(shù)的產(chǎn)生為各行各業(yè)發(fā)展帶來了巨大的前景。微電子機械技術(shù)在電子技術(shù)發(fā)展的.領(lǐng)域中具有極強的靈活性。其發(fā)展不僅帶動了科學(xué)技術(shù)的進(jìn)步，還在一定程度上促進(jìn)了國民經(jīng)濟的增長。微電子機械技術(shù)為技術(shù)和工藝提供了一個全新的發(fā)展空間。
二、微電子機械技術(shù)發(fā)展面臨的問題
1965年GordonE.Moore作為Intel公司創(chuàng)始人之一，他根據(jù)1C芯片發(fā)展的規(guī)律曾預(yù)言了摩爾定律。該定律的預(yù)言使得半導(dǎo)體技術(shù)發(fā)展成為一種可能。當(dāng)前，集成電路的主要技術(shù)為8英寸的0.25um,同時12英寸的0.18um技術(shù)發(fā)展也已經(jīng)漸漸成熟，隨著科學(xué)技術(shù)的發(fā)展0.15um、0.13um產(chǎn)品己開始投產(chǎn)，正在向0.10pm前進(jìn)，按照微電子技術(shù)這種發(fā)展速度，微電子技術(shù)發(fā)展的速度比預(yù)期的還要快。隨著微電子技術(shù)的發(fā)展，使得微加工技術(shù)發(fā)展的進(jìn)程加快。微型加工技術(shù)是微電機械技術(shù)發(fā)展的一個關(guān)鍵性技術(shù)。LIGA加工、準(zhǔn)LIGA加工和硅加工在隨著微電子技術(shù)的發(fā)展朝著更復(fù)雜和更高深度的方向發(fā)展。微加工技術(shù)的發(fā)展使得加工技術(shù)對材料的要求進(jìn)一步提髙。我國微型加工技術(shù)分別在航空、環(huán)境、生物學(xué)等領(lǐng)域中廣泛運用。如今，微電子機械技術(shù)的發(fā)展能力在進(jìn)步的過程中實現(xiàn)了產(chǎn)品非常小的愿望。采用微電子機械技術(shù)生產(chǎn)的產(chǎn)品較其他方式產(chǎn)生的產(chǎn)品具有一定的優(yōu)越性。但是，在我國微電子機械技術(shù)不斷發(fā)展的過程中，微電子機械技術(shù)在發(fā)展的過程中同樣存在一定的問題。其呈現(xiàn)的問題主要有以下幾點：首先，由于微電子機械技術(shù)并不是傳統(tǒng)的機械，其無論是在概念上還是在尺度上遠(yuǎn)遠(yuǎn)超出了傳統(tǒng)機械運用。導(dǎo)致其在設(shè)計和制造方面存在一定的問題。其次；微型機械技術(shù)生產(chǎn)的產(chǎn)品具有微小化的特征，使得在生產(chǎn)中存在較大的難度，導(dǎo)致微電子機械技術(shù)的產(chǎn)品需要經(jīng)過專業(yè)化的處理才能夠被理解和運用。最后，微電子機械技術(shù)的發(fā)展是在微型電子的發(fā)展基礎(chǔ)上發(fā)展起來的。因此，微電子機械技術(shù)的發(fā)展始終以微電子技術(shù)的發(fā)展為前提。
三、微電子機械技術(shù)在我國發(fā)展的現(xiàn)狀和對策
我國在微電子技術(shù)發(fā)展方面較其他國家落后。但是，在我國微電子機械技術(shù)不斷發(fā)展的過程中，太細(xì)的微電子機械并不影響我國電子機械的發(fā)展。當(dāng)前，我國半導(dǎo)體工藝加工水平已經(jīng)完全滿足微電子機械技術(shù)發(fā)展的要求。同時，根據(jù)原有硅基壓力傳感器和相應(yīng)的石英加速器，使得我國在微電子機械技術(shù)發(fā)展的過程中，把握微電子技術(shù)發(fā)展的方向，結(jié)合國外發(fā)展的經(jīng)驗，將我國微電子機械技術(shù)發(fā)展的更為先進(jìn)。當(dāng)前，我國科學(xué)技術(shù)與國外相比存在一定的差距。差距的產(chǎn)生不僅僅是科學(xué)技術(shù)水平的原因，還存在一定的原因就是國家應(yīng)當(dāng)加大相應(yīng)的資金投入，鼓勵我國微電子機械技術(shù)的發(fā)展。微電機械技術(shù)的發(fā)展對我國科學(xué)技術(shù)的發(fā)展具有重要的促進(jìn)作用。為能夠保證其他科學(xué)技術(shù)能夠獲得更好的發(fā)展，微電子機械技術(shù)的發(fā)展必不可少。唯有加大資金的投入，培養(yǎng)更多更優(yōu)秀的人才，促進(jìn)微電機械技術(shù)的發(fā)展，才能夠更好的促進(jìn)我國各方面的發(fā)展。
四、結(jié)束語
微電機械技術(shù)的發(fā)展給我們的生活帶來了翻天覆地變化。無論是從科研成果方面還是科技創(chuàng)造方面都已經(jīng)取得了較為滿意的成績。
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